Акселерометры MEMS

Акселерометры переменной емкости (VC– от англ. variable capacitance) представляют собой уникальные датчики, имеющие внутри конденсатор с параллельным расположением обкладок. Емкостные акселерометры являются датчиками, чувствительными к постоянной составляющей, что делает их идеальными для измерения перемещения, воздействий большой длительности и низкочастотной вибрации.

Акселерометр позволяет измерять широкий диапазон ускорений. Он оборудован защитной конструкцией, которая гарантирует его устойчивость к соударениям. Широкая полоса частот (0- 5 000 Гц)  в сочетании с прочностью, низким потреблением и исключительно высокой стабильностью гарантируют непревзойденную надежность датчика. Внутри датчика имеется газовый демпфер и ограничитель, что позволяет измерять ударное воздействие до 200 000 g и постоянное ускорение.

Они предназначены для применения в таких областях, как слежение за траекторией, оценка конструкции автомобиля/самолета, модальные испытания и испытания на флаттер, испытания подвески и тормозной системы автомобиля. Эти акселерометры обладают высокой чувствительностью к очень низким частотам и непревзойденной температурной стабильностью.

Акселерометры марки EFT известны своей высокой устойчивостью к соударениям и малым временем восстановления. Они способны обеспечить точные измерения в течение нескольких лет.

Датчики с микроэлектромеханическими системами (MEMS-датчики) изготавливаются на предприятиях мирового класса компании MT Microsystem.

Емкостные акселерометры серии MT работают от источников постоянного напряжения и не требуют специальных формирователей сигнала.

Пьезорезистивные акселерометры изготовляются по технологии MEMS. Их электрическое сопротивление изменяется пропорционально механическому напряжению, приложенному к установленной на пружинах подвижной массе, позволяя создавать выходной сигнал. Такие акселерометры оборудованы механическими стопорами и обладают непревзойденной жесткостью. При работе в мостовом включении они способны обеспечить исключительно высокое отношение сигнал/шум. Акселерометры этого типа имеют начинающуюся от нуля частотную характеристику, что позволяет измерять постоянные ускорения. Они идеальны для измерения перемещения, динамически изменяющейся низкочастотной вибрации, а также соударений малой амплитуды и большой длительности.

Типы одноосевых MEMS акселерометров: MSV1000, MSV6000, MSA1000, MSA4000, MPA1000, MPA1064.

Типы двухосевых MEMS акселерометров: MTS2000.

Типы трехосевых MEMS акселерометров: MSV3000, MSA3000, MSA3001A.